低温冷凝泵具有无油,对所有气体的抽速都较大凝结水泵

    凝结水泵由于低温冷凝泵具有无油,对所有气体的抽速都较大,特别是对水蒸汽、H2等抽速很大,适应性强,制冷机低速运行,且运动部件很少,有利于长期可靠运行等优点,因而,被广泛应用于IC生产工艺中的蒸发、溅射、离子注入、分子束外延以及其它诸如高能粒子加速器、受控热核反应、电真空器件、材料科学、表面分析仪器等领域,以此来获得清洁的高真空或超高真空。
现以CTITorr28冷凝泵为例,简要阐述冷凝泵的内部构造特点、工作原理以及维护保养方面的要点。目前,冷凝泵中所使用的冷冻机有以下三种形式。
    ①G2M循环冷冻机:最早被用于冷凝泵中的小型极低温冷冻机,它是根据Gifford和Mcmahon而发明研制,具有很高可靠性、极低温度的冷冻机。如今也使用的很广泛。
    ②ModifiedSolvay循环冷冻机:严格地说,在热力学上与G2M循环不一样,但在实际上也可以看作是用在气压驱动机构上的G2M循环冷冻机。
    ③Sterling循环冷冻机:是容压缩和膨胀为一体的冷冻机,在冷凝泵中一般作为最大型机种来使用,但目前基本上不使用。